“智”造未來——千眼狼高速視覺+AI科技賦能泛半導體制造產(chǎn)業(yè)
發(fā)布日期:2025/3/1 瀏覽次數(shù):188
2月27日,“機器視覺與AI賦能泛半導體制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展大會”在合肥盛大啟幕。安徽省視覺技術協(xié)會副理事長單位,國內(nèi)行業(yè)高速攝像機、科學相機的頭部廠商,中科視界深度參與此次盛會,創(chuàng)始人呂盼稂先生蒞臨現(xiàn)場并致大會開幕詞,與各位嘉賓共同探討泛半導體制造產(chǎn)業(yè)發(fā)展與愿景。
隨著5G通信、人工智能、物聯(lián)網(wǎng)等技術快速發(fā)展,對芯片需求持續(xù)攀升,推動泛半導體制造產(chǎn)業(yè)蓬勃發(fā)展。同時產(chǎn)業(yè)正在向更高速度、更高精度、更智能化的方向發(fā)展,對制造過程中的檢測、控制和質量提出更高要求。
作為人工智能的重要分支,機器視覺模擬人類視覺系統(tǒng),對生產(chǎn)過程中的各種物體和場景快速準確的識別與檢測,AI技術則賦予設備強大的學習和分析能力,二者深度融合,以適應復雜嚴苛的任務。
從納米級缺陷檢測到高速精密動作捕捉,千眼狼高速機器視覺+AI科技依托自主研發(fā)的高速攝像機、sCMOS科學相機,為泛半導體制造全流程提供關鍵視覺解決方案,助力客戶攻克核心工藝難題。
高速攝像機在晶圓切割、封裝和測試中的應用——
編帶機吸頭/卡爪定位:千眼狼3000幀級高速攝像機捕捉吸嘴取放芯片瞬態(tài)位移,清晰觀察吸頭和卡爪的定位精度和穩(wěn)定性。AI分析機械手運動軌跡,預防飛片風險。點膠機膠路控制:通過千眼狼2000幀級高速攝像機捕獲不同氣壓下膠體拉絲、斷膠等異常瞬態(tài)圖像,定位閥體堵塞或氣壓波動故障。
分選機與錫膏焊接監(jiān)測:通過千眼狼萬幀級高速攝像機監(jiān)測分選機吸頭和頂針動作,錫膏流動和焊接情況,通過慢動作回放,清晰觀察動作缺陷,AI分析配合情況,判斷設備是否需要維護。
sCMOS科學相機在半導體晶圓/芯片缺陷檢測中的應用——
裸晶圓表面檢測:利用千眼狼 Gloria sCMOS科學相機UV波段檢測能力、95%量子效率與16bit動態(tài)范圍,識別晶圓拋光后的納米級劃痕。
圖案晶圓檢測:利用千眼狼Gloria sCMOS科學相機的弱光探測能力,融合光學系統(tǒng)與AI算法,區(qū)分光刻后的線寬偏差、套刻誤差等缺陷,實現(xiàn)對傳統(tǒng)電子顯微鏡檢測方案的有效替代。
光掩模對準與晶圓鍵合:利用科學相機低噪聲特性(暗電流0.2e-/p/s)保障弱光環(huán)境下對準標記識別,鍵合界面間隙檢測精度可達亞微米級。
中科視界致力于為泛半導體行業(yè)提供高速機器視覺與AI技術組合,依托高速視覺系統(tǒng)生成的海量圖像數(shù)據(jù),通過AI訓練關鍵工序的工藝參數(shù)預測模型,深度挖掘機器視覺數(shù)據(jù)價值,持續(xù)為產(chǎn)業(yè)升級賦能。